本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定以下測(cè)量過(guò)程用于收集重復(fù)性精度和精確度數(shù)據(jù),4塊檢測(cè)樣板表面復(fù)貼粘膠帶(見(jiàn)附C,粘膠帶的使用指南)。按給定器件的貼裝程序,在4塊檢測(cè)樣板上貼裝器件。接下將4塊檢測(cè)樣板送入光學(xué)坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)(CMM),測(cè)量每個(gè)貼裝器件沿X,Y,?軸向器件貼裝位置偏差..
A. 重復(fù)性精度Repeatability
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的重復(fù)性精度定義是在多塊檢測(cè)樣板PVP上貼裝一定數(shù)量的器件樣本,測(cè)量器件計(jì)算貼裝位置偏差的標(biāo)準(zhǔn)偏差。標(biāo)準(zhǔn)偏差表示貼片機(jī)在重復(fù)貼裝一個(gè)器件時(shí),所得到的器件貼裝位置偏差的離散性。貼裝位置偏差的定義是貼裝器件實(shí)際中心位置與相對(duì)于檢測(cè)樣板基準(zhǔn)標(biāo)志CAD坐標(biāo)的給定位置,兩者間物理距離。(附D,測(cè)量器件中心位置的兩種方法)。X軸向平均偏差XDEVX軸向平行檢測(cè)樣板上“9850 Verification”標(biāo)志。Y軸向平均偏差YDEV垂直檢測(cè)樣板上“9850 Verification”標(biāo)志。?軸向轉(zhuǎn)動(dòng)平均偏差?DEV(環(huán)器件X-Y軸面中心)B、精確度Accuracy